Tekniske midler til ultra-præcisionsbearbejdning

Ultrapræcisionsskæring, såsom ultrapræcisionsskæring med diamantværktøj, kan behandle forskellige spejloverflader. Det har med succes løst behandlingen af ​​store parabolske spejle, der bruges i laserkernefusionssystemer og astronomiske teleskoper. Ultrapræcisionsslibe- og lappeprocesser såsom belægningsoverfladebehandling af harddiske med høj densitet og bearbejdning af integrerede kredsløbssubstrater i stor skala. Ultra-præcision specialbehandling, såsom grafikken på integrerede kredsløbschips i stor skala, behandles ved hjælp af elektronstråle- og ionstråleætsningsmetoder, og linjebredden kan nå 0.1µm. Hvis den behandles ved hjælp af scanning tunneling elektronmikroskop (STM), kan linjebredden nå 2 til 5 nm.
1. Ultra-præcisionsskæring

Ultrapræcisionsskæring startede med SPDT-teknologi, som understøttes af luftlejespindler, pneumatiske slæder, høj stivhed, højpræcisionsværktøjer, feedbackkontrol og omgivelsestemperaturkontrol og kan opnå overfladeruhed på nanometerniveau. Diamantværktøjsfræsning bruges mest, og det er meget udbredt i behandlingen af ​​kobberplan og asfæriske optiske komponenter, organisk glas, plastprodukter (såsom plastlinser til kameraer, kontaktlinser osv.), keramik og kompositmaterialer. Den fremtidige udviklingstendens er at bruge belægningsteknologi til at forbedre sliddet på diamantværktøj ved bearbejdning af hærdet stål. Derudover kræver bearbejdning af mikrodele såsom MEMS-komponenter mikroværktøjer. På nuværende tidspunkt kan størrelsen af ​​mikroværktøjer nå omkring 50-100 μm, men hvis de bearbejdningsgeometriske funktioner er på submikron- eller endda nanometerniveau, skal værktøjsdiameteren reduceres yderligere. Udviklingstendensen er at bruge nanomaterialer såsom nanokulstofrør til at lave drejeværktøjer med ultra-lille værktøjsdiameter eller fræsere.

2. Ultra-præcision slibning

Ultra-præcisionsslibning er en spejlslibemetode udviklet på basis af generel præcisionsslibning. Dens nøgleteknologi er slibning af diamantslibeskiver for at få slibekornene til at have mikrokantegenskaber og isohøjdeegenskaber. Bearbejdningsobjekterne for ultrapræcisionsslibning er hovedsageligt sprøde og hårde metalmaterialer, halvledermaterialer, keramik, glas osv. Efter slibning efterlades et stort antal ekstremt fine slibemærker på den bearbejdede overflade, og resthøjden er ekstremt lille. . Kombineret med mikrobladets glidende, friktions- og poleringseffekter kan der opnås en højpræcision og lav overfladeruhed behandlet overflade. I øjeblikket kan ultrapræcisionsslibning behandle cylindriske dele med en rundhed på 0.01μm, en dimensionsnøjagtighed på 0.1μm og en overfladeruhed på Ra0,005μm.

3. Ultra-præcision slibning

Ultrapræcisionsslibning omfatter mekanisk slibning, kemisk mekanisk slibning, flydende slibning, elastisk emissionsbehandling og magnetisk slibning. Nøglebetingelserne for ultrapræcisionsslibning er næsten vibrationsfri slibebevægelse, præcis temperaturkontrol, rent miljø og fine og ensartede slibemidler. Sfæriciteten af ​​ultrapræcisionsslibning når 0.025μm og overfladeruheden Ra når 0,003μm.

4. Ultra-præcision specialbehandling

Ultra-præcision specialbehandling omfatter hovedsageligt laserstrålebehandling, elektronstrålebehandling, ionstrålebehandling, mikro-elektro-gnistbehandling, fin elektrolytisk behandling og elektrolytisk slibning, ultralyd elektrolytisk behandling, ultralyd elektrolytisk slibning, ultralyd elektrisk gnist og anden kompositbehandling. Laser- og elektronstrålebehandling kan realisere stansning, præcisionsskæring, formskæring, ætsning, fotolitografieksponering og behandling af laser-anti-forfalskningsmærker; ionstrålebehandling kan realisere skærebehandling på atomare og molekylært niveau; mikro-udladningsbehandling kan realisere fjernelse af ekstremt fine metalmaterialer og kan behandle fine aksler, huller, smalle spalter, planer og buede overflader; fin elektrolytisk behandling kan opnå præcision på nanometerniveau, og overfladen vil ikke producere forarbejdningsspænding. Det bruges ofte til spejlpolering, spejludtynding og nogle lejligheder, der kræver stressfri bearbejdning.

Præcision og ultra-præcisionsbehandling er en af ​​de vigtigste udviklingsretninger for moderne fremstillingsindustri og er blevet en nøgleteknologi for succes i international konkurrence. mit lands fremstillingsindustri er gået ind i en fase af hurtig udvikling. Med uddybningen af ​​landets videnskabelige og demokratiske proces tror jeg, at mit lands fremstillingsindustri vil udvikle sig hurtigere og sundere.